等离子体和固体、液体或气体一样,是物质的一种状态,也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的"活性"组分包括:离子、电子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子体表面处理仪就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。
等离子体是物质的一种存在状态,通常物质以固态、液态、气态三种状态存在,但在一些特殊的情况下有第四种状态存在,如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质:处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等,但物质在总体上仍保持电中性状态。
在真空腔体里,通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体,通过等离子体轰击被清洗产品表面.以达到清洗目的.
等离子清洗机材料表面改性的方法通常可分为化学改性和物理改性。化学改性是指用化学试剂处理材料表面,使其表面性质得到改善的方法,包括酸洗、碱洗、过氧化物或臭氧处理等。物理改性指用物理技术处理材料表面,使其表面性质得到改善的方法,包括等离子体表面处理、光辐射处理、火焰处理、力化学处理、涂覆处理及加入表面改性剂等方法。
等离子清洗机技术作为一种新型的材料表面改性方法,以等离子清洗机低能耗、污染小、处理时间短、效果明显的特点引起了人们的关注。等离子清洗机在众多的改性方法中,低温等离子清洗机是近年来发展较快的方法,等离子清洗机与其他方法相比有很多优点:首先等离子清洗机是一种干式工艺,省去了湿法化学处理工艺中所不可缺少的烘干,废水处理等工艺;若与其他干式工艺如放射线处理、电子束处理、电晕处理等相比,等离子清洗机独特之处在于它对材料的作用只发生在其表面几十至数千埃厚度范围内,既能改变材料表面性质又不改变本体性质。
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主要生产研发:
等离子清洗机、等离子处理机、真空等离子清洗机、大气等离子处理设备、大气常压等离子清洗机。
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